氧化锆氧量分析仪的使用及维护
半导体/液晶/电子元件相关应用半导体、电子元件用氧分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
测量原理 | 氧化锆浓缩电池供电 | ||
形状 | 分离式（转换器：壁挂式，传感器：直插式） | ||
显示方式 | 数字4位显示（浓度显示） | ||
测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm | ||
重复性 | 在 ± 0.5% FS 0-1% 范围内或更多 | ||
测量点数 | 1-8 | ||
样气条件 | 压力 | 10 -3～ 200 KPa（绝压） | |
流量 | 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然扩散状态的测量） | ||
湿度 | 露点低于环境温度 | ||
温度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不含腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。 | ||
比较气体 | 气氛 | ||
录音机输出 | 仅传输输出 | ||
传输输出 | RS-232C | ||
报警输出 | 没有任何 | ||
热身时间 | 6分钟内 | ||
尺寸 | MS-500（控制器） | 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分） | |
MS-510（转换器） | 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分） | ||
传感器单元 | SD16NW | 全长100mm（感应部分Φ11×39，本体部分Φ40×51） | |
SD25NW | 全长100mm（感应部分Φ11×42，本体部分Φ40×48） | ||
SD40NW | 全长100mm（感应部分Φ11×41，本体部分Φ40×49） | ||
大量的 | MS-500（控制器） | 约0.6Kg | |
MS-510（换能器） | 约0.5kg | ||
传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
SD25NW | 约0.2Kg | ||
SD40NW | 约0.35Kg | ||
外部连接 | 真空法兰之一（NW16、25、40） | ||
使用的电源 | 24VDC ± 10% | ||
